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TTS-2000 SORTER

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关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:一体化水高峻,自动化水高峻,安全区庇护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制,具有新紧自立研发的控制器,Aligner,方便正在视窗察看的可拆卸单元门,夷易挪动框架,带有断绝的电扇 过滤体系,可拆分的装备构造,从而包管装备干净、牢靠的运转……

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简介

SORTER事一个工质料传输装备,事一个取SEMI尺度兼容的界面体系,能够手动概共同AGV或OHT的承载水平传输晶周遭。该体系供给单线接口供工掌握,丰裕的传输间距取工交互安然静简朴的方式供野生效劳。占地面积巨细,接纳有X轴的双臂机械手,经由过程单轴复合活动实现取放片,极大的进步了传片服从的同时而又低落了产物保护成本。内部全新的气体导流构造,包管内部空间干净家可以满意iso class 1级别,包管晶周遭传输历程的干净家。内部带有多重互锁庇护,重软件参加硬件,多重包管晶周遭传输历程中的安全,职员取装备的安全。

参数

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